Estrikti anbalaj, substra, metòd anbalaj ak eleman aplikasyon teknoloji pwosesis

Eleman aplikasyon teknik:

3. Teknoloji prezan an bay yon estrikti anbalaj, yon substra, ak yon metòd anbalaj, konsa tankou diminye estrès la anbalaj ki te pwodwi nan pwosesis la lyezon nan aparèy la mems.

4. Nan yon premye aspè, yo bay yon estrikti pake, estrikti pake a ka gen ladan: yon aparèy mems; Koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl klas la se mwens pase koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl baz aparèy mems la; ak/oswa, koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl dezyèm klas la pi gran pase koyefisyan ekspansyon tèmik materyèl baz aparèy mems la; materyèl la lyezon, ki chita ant aparèy la mems ak substra a, yo itilize pou Kosyon aparèy la mems nan substra a.

5. ilistrasyon, aparèy mems la se yon microsensor. Pou egzanp, aparèy la mems se yon chip Capteur, oswa aparèy la mems se yon estrikti pil nan yon chip Capteur ak yon chip sikwi lekti. Kòm yon egzanp epi yo pa yon limitasyon, nan reyalizasyon nan teknoloji aktyèl la, aparèy la mems ka ranplase ak yon Capteur mikwo.

6. Illustratively, aparèy mems la kole nan substra a atravè yon materyèl adezif, ak materyèl ki konpoze substra a gen ladan premye kalite materyèl ak dezyèm kalite materyèl, ki ka fè estrès anbalaj ak / oswa deformation ki te pwodwi pandan lyezon an. pwosesis nan aparèy la mems mwens pase papòt Prereglaj. Altènativman, aparèy mems la kole ak substra a atravè yon materyèl adezif, ak materyèl ki konstitye substra a gen ladan premye kalite materyèl ak dezyèm kalite materyèl, pou estrès anbalaj ak/oswa deformation ki te pwodwi pandan pwosesis lyezon an. aparèy mems se nan yon seri prereglaj Anndan. Altènativman, aparèy mems la kole nan substra a atravè yon materyèl adezif, ak materyèl ki konstitye substra a gen ladan premye kalite materyèl ak dezyèm kalite materyèl, ki ka kontwole estrès anbalaj ak/oswa deformation ki te pwodwi nan lyezon aparèy mems la. pwosesis. Pa egzanp epi pa limitasyon, nan kèk ka, estrès pake ki te pwodwi pandan pwosesis lyezon aparèy mems la se zewo oswa tou pre zewo. Ka papòt la prereglaj oswa seri a prereglaj dwe detèmine selon kondisyon aktyèl nan aplikasyon pratik.

7. Ki baze sou solisyon teknik ki anwo yo, nan estrikti pake ki bay nan reyalizasyon teknoloji prezan an, substra konsepsyon an ka konpoze de yon varyete materyèl diferan, se konsa ke pwopriyete yo materyèl nan substra a ka kontwole kontwole. Pou egzanp, pa ajiste rapò a nan diferan materyèl ki konstitye substra a oswa epesè oswa zòn kontak nan kouch yo ki diferan materyèl yo fè pati, li posib kontwole kontwole koyefisyan ekspansyon tèmik, rèd, dansite, elatriye nan substra a. Pa kontwole kontwole pwopriyete yo materyèl nan substra a, li posib ajiste ak redwi estrès anbalaj nan aparèy la mems (tankou yon microsensor) akòz dezakò nan koyefisyan nan ekspansyon tèmik nan aparèy la mems ak substra a pandan pwosesis la lyezon. , kidonk ajiste deformation nan aparèy la mems.

Kontakte nou:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plis 86-755-23699351

Mob: plis 8618666663894