Mikwo-elektwomekanik aparèy ak metòd fabrikasyon li yo ak eleman realizasyon teknik

Eleman aplikasyon teknik:

4. Nan sans de pwoblèm ki anwo yo, yo pwopoze envansyon aktyèl la. Envansyon aktyèl la bay yon estrikti nouvo aparèy mems, ki ka evite itilize travès cantilever, gen pi wo durability, e li gen yon estrikti ki pi senp. Envansyon aktyèl la tou bay yon metòd fabrikasyon roman nan aparèy mems la, ki gen etap pwosesis senp epi li ka amelyore pwodiksyon an fabrikasyon.

5. Dapre yon reyalizasyon egzanplè, yon aparèy mikwo-elektwomekanik ka gen ladan: yon substra izolasyon; yon pòs sipò dispoze sou substra a, pòs sipò a sipòte yon mas prèv; ki antoure substra a sou substra a Youn oswa plizyè pè plak elektwòd ranje sou blòk mas la, chak pè plak elektwòd ranje sou bò opoze nan blòk la mas; ak yon plak kouvèti posibilite, kote yon pè plak elektwòd ki koresponn ak youn oswa plizyè pè plak elektwòd ranje oswa plizyè pè elektwòd, lè plak kouvèti a kouvri youn oswa plis pè plak elektwòd, youn oswa plis pè. nan elektwòd yo respektivman an kontak elektrik ak youn oswa plis pè plak elektwòd.

6. Nan kèk reyalizasyon, pòs sipò a, prèv-mas la, ak youn oswa plis pè plak elektwòd yo fòme nan yon kondiktè oswa materyèl semi-conducteurs, ak kondiktè kondwi ki konekte ak pòs sipò yo konekte soti nan yon bò nan substra a. Plon soti, kondiktè yo ki konekte nan youn oswa plis pè elektwòd yo mennen soti nan yon bò nan plak kouvèti a.

7. Nan kèk reyalizasyon, plak kouvèti a fòme ak yon ouvèti ant youn oswa plizyè pè elektwòd pou ekspoze pòs sipò a ak mas prèv la.

8. Nan kèk reyalizasyon, wotè prèv-mas la pi ba pase wotè youn oswa plis pè plak elektwòd.

9. Nan kèk reyalizasyon, yo itilize aparèy mikwo-elektromekanik la kòm yon akseleromèt ak youn oswa plizyè pè plak elektwòd yo itilize pou mezire chanjman nan kapasite akòz chanjman nan pozisyon prèv-mas la.

10. Nan kèk reyalizasyon, aparèy mikwo-elektwòd yo itilize kòm yon jiroskop, ak youn oswa plis pè plak elektwòd gen ladan omwen yon premye pè plak elektwòd ak yon dezyèm pè plak elektwòd, premye pè plak elektwòd pou yon kondwi. se siyal aplike nan kondwi prèv-mas la osile ant premye pè plak elektwòd, ak dezyèm pè plak elektwòd yo itilize pou mezire chanjman nan kapasite akòz chanjman nan pozisyon prèv-mas la.

Kontakte nou:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plis 86-755-23699351

Mob: plis 8618666663894