Yon kalite MEMS mikwo-cho plak ki baze sou lateral fim dielectric konpoze ak metòd fabrikasyon li yo

Yon kalite MEMS mikwo-cho plak ki baze sou transverse fim dielectric konpoze ak metòd fabrikasyon li yo

jaden teknik

1. Envansyon aktyèl la gen rapò ak jaden teknik mems, an patikilye ak yon plak mikwo-cho mems ki baze sou yon fim dielectric konpoze transverse ak yon metòd fabrikasyon ladan l.

Teknik background:

2. Mikwo-chot ki baze sou pwosesis mems yo te pwouve yo gen avantaj ki genyen nan miniaturizasyon, konsomasyon pouvwa ki ba, repons rapid tèmik, ak entegrasyon fasil, epi yo lajman ki itilize nan detèktè mikwo-gaz, mikwo-gaz mèt koule, emeteur enfrawouj. , ak mikwo-tèmomèt. Pou egzanp, lè yo itilize yon plak mikwo-cho pou yon Capteur mikwo-gaz, pèfòmans nan Capteur mikwo-gaz afekte pa tanperati opere li yo ak estabilite mekanik. Anjeneral, plak la mikwo-cho itilize pou yon Capteur mikwo-gaz bezwen bay yon tanperati inifòm nan 150 degre a 400 degre ak bon Estabilite nan mekanik nan plak la mikwo-cho mande pou to a chofaj nan plak la mikwo-cho dwe vit. epi distribye egalman. Yo nan lòd yo dwe entegre nan aparèy mobil, microhotplates bezwen diminye konsomasyon pouvwa otank posib epi bay yon tanperati apwopriye, pandan y ap kenbe bon inifòmite tanperati, pwopriyete mekanik ak pousantaj chofaj, ki te vin tounen yon plas cho nan jaden an nan rechèch microhotplate.

3. aktyèl mems planar mikwo-cho plak jeneralman itilize sio2, si3n4 ou sio2, si3n4 fim konbine nan yon direksyon vètikal pou fòme yon kouch sipò ak yon kouch dielectric. Sepandan, konduktiviti tèmik ki ba nan plak la mikwo-cho lè l sèvi avèk sèlman materyèl sio2 se fasil ogmante pèt chalè ak lakòz segondè-tanperati deformation tèmik. Plak mikwo-cho a lè l sèvi avèk sèlman materyèl si3n4 ka soulaje deformation tèmik wo-tanperati a ak ogmante pousantaj chofaj la, men konduktiviti nan tèmik segondè Pwopriyete yo nan sio2 ak si3n4 mennen nan yon ogmantasyon nan pèt chalè lateral, ak deformation nan plak la cho. konpoze de fim sio2 ak si3n4 konbine nan yon direksyon vètikal redwi, men pèt chalè lateral la toujou egziste. Faktè sa yo mennen nan yon pi gwo pèt kondiksyon tèmik ak pi gwo konsomasyon pouvwa nan plat-kalite mikwo-chot la pase sispansyon-pon-kalite mikwo-chot la. Sepandan, pwoblèm grav yo nan plak la mikwo-cho sispansyon pon-kalite yo se gwo deformation, domaj fasil, ak enkonpatibilite ak lòt pwosesis nan etap la pita, sa ki lakòz pwodiksyon ba, estabilite ki ba ak disponiblite nan preparasyon aparèy ki baze sou sa a kalite mikwo. -plak cho.

Kontakte nou:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plis 86-755-23699351

Mob: plis 8618666663894